螺桿式真空泵的介紹

一、螺桿式真空泵的應(yīng)用和特點(diǎn)：

螺桿式真空泵主要在半導(dǎo)體行業(yè)、化學(xué)工業(yè)、薄膜產(chǎn)業(yè)得到應(yīng)用于發(fā)展。螺桿式真空泵的吸氣和排氣原理和大多數(shù)是一樣的，是利用一對(duì)螺桿，在泵殼中作同步高速反向旋轉(zhuǎn)而產(chǎn)生的吸氣和排氣作用的抽氣設(shè)備。

二：螺桿式真空泵的冷卻方式：

很多泵轉(zhuǎn)子卡死的原因是吸入含有粉塵及結(jié)晶的物質(zhì)、高溫發(fā)生聚合的物質(zhì)、熱敏性物質(zhì)的升華造成轉(zhuǎn)子間的縫隙被堵死，另外一個(gè)原因是由于長(zhǎng)期運(yùn)轉(zhuǎn)，轉(zhuǎn)子會(huì)由于熱脹冷縮而發(fā)生形變，造成泵的卡死。

三、抽除易燃易爆易腐蝕介質(zhì)：

眾所周知，腐蝕是由于溶液里的酸性離子和堿性離子跟金屬發(fā)生反應(yīng)才造成的，溫度越高腐蝕的速率越快。一般的真空泵采用一些防腐材質(zhì)或是在轉(zhuǎn)子上做一些防腐涂層來(lái)延緩腐蝕速率。

此外使用鐵劑金屬高鍍鎳涂層材質(zhì)，一旦出現(xiàn)細(xì)微的裂紋就會(huì)導(dǎo)致材料產(chǎn)生迅速的電化學(xué)腐蝕。那么是不是只要特殊設(shè)計(jì)能可靠地控制溫度的設(shè)備把腐蝕性介質(zhì)保持在氣相狀態(tài)，沒(méi)有離子形式存在是不是就不存在腐蝕了？答案是肯定的。該泵應(yīng)用其自身先進(jìn)的冷卻系統(tǒng)，可以調(diào)整泵腔內(nèi)及轉(zhuǎn)子的溫度，使之沒(méi)有離子形式存在，全都?xì)饣?，從而避免腐蝕。所以此螺桿干式真空泵轉(zhuǎn)子采用不銹鋼，不做任何涂層，降低了成本，增加了安全性能。

評(píng)價(jià)爆炸有兩個(gè)指標(biāo)：可燃物質(zhì)的閃點(diǎn)及燃點(diǎn)。因?yàn)槁輻U干式真空泵中的兩個(gè)螺桿在泵體內(nèi)沒(méi)有摩擦，所以不會(huì)產(chǎn)生電火花，就沒(méi)有了火源，另外其通過(guò)自身的冷卻系統(tǒng)降低泵內(nèi)溫度使被抽物質(zhì)的燃點(diǎn)難以達(dá)到，從而杜絕爆炸！

四、螺桿式真空泵的密封

泵內(nèi)既無(wú)與外界之間的軸封又無(wú)泵腔與冷卻循環(huán)水回路之間的密封，因此可以抽除有毒有害介質(zhì)。

五、螺桿式真空泵特點(diǎn)：