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如何正確測(cè)量2BV水環(huán)真空泵的真空漏率

發(fā)布日期:2021-06-21

        2BV水環(huán)真空泵的真空漏率測(cè)量的辦法是以示漏物質(zhì)夜蓋被橙容器的整個(gè)可疑區(qū),另一側(cè)抽真空,或是在被檢容器的內(nèi)外兩側(cè)形成壓差(或示漏物質(zhì)的濃度差),在低壓(或低濃度)漏物質(zhì)的漏率和濃度變化。

  1、加壓條件下容器漏率的測(cè)定

  在加壓條件下測(cè)童容器漏率的方法有:氣泡法、超聲法、氣敏半導(dǎo)體檢漏儀法、氨檢漏法、鹵素檢漏儀法、氮質(zhì)譜檢漏儀法等。

  2、真空條件下容器漏率的測(cè)定

 ?。?)利用接人真空容器的真空規(guī)、離子泵及殘氣分析質(zhì)譜計(jì)來(lái)測(cè)定容器的漏率。

 ?。?)可以選用流盆測(cè)量、壓力測(cè)量、鹵素檢漏儀以及氮質(zhì)譜檢漏儀等方法來(lái)測(cè)全漏率。

  3、密封件的無(wú)損檢漏

 ?。?)盡量利用2BV水環(huán)真空泵的密封件上可用來(lái)指示密封器件內(nèi)部壓力和示漏物質(zhì)分壓力的規(guī)管和殘氣分析質(zhì)譜計(jì)等進(jìn)行檢漏。

  (2)有些原來(lái)不是測(cè)量壓力的裝置,如:電子管、顯像管等,若改換饋電方式,將其電極接成電離規(guī)的方式,測(cè)全出管內(nèi)離子流的變化,便可知管內(nèi)壓力的變化率。大批量生產(chǎn)這類(lèi)器件時(shí),可以通過(guò)校準(zhǔn)的方法把離子流的變化率直接換算成漏率。

 ?。?)如果密封件內(nèi)部具有可作為示漏的物質(zhì)時(shí),采用動(dòng)態(tài)法或靜態(tài)法對(duì)漏到外面的示漏物質(zhì)進(jìn)行檢測(cè),就可測(cè)出漏孔來(lái)。通常這類(lèi)密封件內(nèi)部的示漏氣體的分壓力要比采用背壓法時(shí)的壓力為高。因此,檢漏靈敏度高,費(fèi)用低。

  (4)2BV水環(huán)真空泵的背壓法檢漏適用于成批生產(chǎn)小型密封件時(shí)的檢漏,可以使用鹵素檢漏儀,氮質(zhì)譜檢漏儀,放射性同位素等檢漏方法和儀器。


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