探討羅茨真空泵壓力和抽速受影響因素【非耀】

羅茨真空泵是一種容積泵，羅茨真空泵壓力和抽速，對各種氣體是不變的。對抽除分子量比氮氣低得氣體（He和H2）時，間隙泄漏量稍有增加就會引起抽速稍有下降。在入口壓力為1-0.1hPa范圍內(nèi)有較大抽速，在較高壓力和降低壓力時，由于返流作用較大些，故抽速在此兩者情況下稍微有些下降。

羅茨泵抽氣腔內(nèi)是干燥無油的，羅茨真空泵壓力與選擇的前級泵種類有關(guān)。受前級真空泵潤滑油的蒸汽壓力，以及齒輪箱、軸承處潤滑油的蒸汽壓力的影響。

在液環(huán)泵作為羅茨真空泵的前級泵時，羅茨真空泵壓力和抽速，取決于水環(huán)真空泵使用的液體。水是通用的工作液體，水環(huán)真空泵壓力為20-30hPa，它取決于供水的溫度。羅茨真空泵機組壓力可達到1hPa，是水環(huán)泵來的工作液所決定的。一般來說，用一臺羅茨真空泵與單級前級泵組成為機組的情況較多，但要求有更高的壓力和抽速時，常用多臺羅茨真空泵串聯(lián)后再加前級泵組成機組。

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